C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1984年発行。前版は2002年11月発行。 　 注意:　本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。 　 本文書の目的は，半導体産業で使用されるジシラン(Si2H6)の仕様を提供することである。 　 Referenced SEMI StandardsSEMI C1 — Specifications for Reagents SEMI C3 — Specifications for Gases