C00607 - SEMI C6.7 - 高圧ガスシリンダ中のグレード10/0.2窒素に対するパーティクル仕様

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。   本スタンダードは，Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2002年11月発行。 　 NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by SEMI　C97. 　 この文書の目的は，(1) 10/0.2グレード，シリンダ充填窒素に対する最大許容パーティクル濃度の設定，および(2)その確認のための基準方法の記述である。 　 この仕様は，高圧ガスシリンダに充填された窒素に適用される。パイプライン・ガスには適用されない。 　 窒素シリンダは，3つの部品から構成される：(1)シリンダ・ボトル，(2)充填された圧縮窒素，および(3)シリンダ・バルブ。それぞれの部品がパーティクルのソースとなり得る。この仕様は，規定条件下でシリンダから得られるガス中に検出されるパーティクルの総数に適用される。パーティクル源は考慮されない。 　 減圧器は，制御