C02800 - SEMI C28 - フッ化ケイ素酸の仕様

本スタンダードは，global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年1月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2006年2月にwww.semi.orgで，そして2006年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1978年発行，前版は2005年7月に発行された。 　 本文書の目的は，半導体産業で使用されるフッ化ケイ素酸に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。 　 本文書の範囲は半導体産業で使用されるフッ化ケイ素酸の全てのグレードである。 　 Referenced SEMI StandardsSEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals