D01000 - SEMI D10 - FPD用ガラス基板の耐薬品性テスト方法

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。   本テスト方法は，Flat Panel Display Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese FPD Materials and Components Committeeが直接責任を負うものである。現版は，2003年4月28日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年7月にまずwww.semi.orgで入手可能になり。初版は1995年発行。 　 本テスト方法はフラットパネルディスプレイ（Flat Panel Display）（FPD）用ガラス基板を，FPD製造工程で使用されている試薬を用いて定量的に評価する。   本スタンダードは，FPD用ガラス基板のベンダーおよび，あるいは購入者に使用される。 　 本スタンダードは数種類のFPD用ガラス基板の耐薬品性テストのための3つの方法を定義する。 A：重量変化法 B：形状測定を使用した段差法 C：表面ヘイズ法 それぞれの方法は，管理された連続化学反応の間に基板より除去された材料の合計の量を，提供する。それぞれの方法に対し，この結果は名目上同一である。 　Referenced SEMI StandardsSEMI D5 — Standard Size for FPD Display Substrates