D01500 - SEMI D15 - FPDガラス基板の表面うねりの測定方法
$224.00
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本測定方法は，Global Flat Panel Display Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese FPD Materials and Components Committeeが直接責任を負うものである。現版は，2003年4月28日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2003年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2003年7月発行に至る。初版は1996年12月発行。 この文書は，触針式，光学触針式測定器および光学干渉計式平面度測定器を使用した，FPDガラス基板の表面うねりの測定方法について規定する。 Referenced SEMI StandardsSEMI D3 — Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates SEMI D9 — Definitions for Flat Panel Display Substrates
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