E05409 - SEMI E54.9 - TCP/IPでのMODBUS/TCPのためのセンサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで，そして2008年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年2月発行，前版は2006年7月に発行された。 　 注意：　本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。 　 本スタンダードはトランスミッション・コントロール・プロトコル／インターネット・プロトコル（TCP/IP）・ネットワークでのModbus/TCPプロトコルに基づく通信仕様を定義する。これは，センサ／アクチュエータ・ネットワーク（SAN）上にあって，半導体製造ツールのSEMI規定の（共通およびデバイス独自の）デバイスモデルに従って作動するインテリジェント・デバイス相互の通信を可能にするものである。 　 背景および動機 　 TCP/IP上のModbus/TCPはコンポーネント・レベルのネットワークであり，コントロール・レベルの工業用デバイス（センサおよびアクチュエータなど）およびコントローラなどのハイレベル・デバイスの間の，簡単で高速，そして安価なデータ交換の方法を提供する。TCP/IP上のModbus/TCPが提供するものは下記のとおりである： ローレベルなデバイス・ネットワーキングを解決する方法， ローレベルなデバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス よりハイレベルのコントローラ相互のネットワーキング マスター／スレーブ通信性能およびピア・ツー・ピア通信性能 　 Modbus/TCPは通信モデルとプロトコルを規定する。物理層，データ・リンク層，およびネットワーク層の定義は，TCP/IPイーサネットなど，Modbus/TCPプロトコルが組み込まれているネットワークが定義する。 　 本文書には共通デバイス・ネットワークおよび特定デバイス・ネットワークの明白な構造および挙動をTCP/IPネットワーク上のModbus/TCPへマッピングしたものが記されており，それによってSEMI準拠のSANにあるインテリジェン