E05411 - SEMI E54.11 - エンドポイントデバイスのための特定デバイスモデル

本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年12月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年発行。前版は2006年11月発行。 　 注意：　本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。 　 注意:　本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。 　 本仕様はセンサ／アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードを実装するために規定された一連のスタンダードの一つである。本仕様の具体的な目的は，半導体装置センサ／アクチュエータ通信ネットワーク 上にあるエンドポイントデバイス（EPD）すべてに共通したデバイスオブジェクトで構成される，ネットワークに左右されないアプリケーションモデルを記述することである。 　 Referenced SEMI Standards SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E54 — Sensor/Actuator Network Standard SEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device Model