E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。 本仕様は， Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので，North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2000年10月19日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。2001年1月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2001年3月発行に至る。初版は，1997年6月発行。 注意：SEMI E58は2003年7月にサブドキュメントSEMI E58.1が再承認されたため改訂年月が更新された。 　 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 　 本文書ではSEMI E10に従った装置レベルでのSEMI E10の状態の変化を実装および収集