E09500 - SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様

本仕様は，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで，そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年2月発行，前版は2001年11月に発行された。 　 本スタンダードは，作業者の教育訓練，作業仕様，効率的な開発などを含む問題の解決を容易にするための共通ソフトウェアスタンダード開発を目指したものである。 　 本スタンダードはコンピュータあるいはオペレーティング・システムの特定機能への参照あるいは依存を避け，ツール・ニュートラル（特定機器非依存）方式で作成されている。同様に，ソフトウェア・ツールの選択や詳細な実装方法についても，特に指定されていない。 　 また本スタンダードの図表はすべて概略図であり，正確な縮尺率に基づくものではない。特に別記されていない限り，ボタンの数やサイズ，パネルのサイズなどの実装の詳細を決定することは意図されていない。 　 このスタンダードは半導体の生産に使われる製造装置に適用される。 　 このスタンダードはフラットパネルディスプレイの製造分野等にも適用できるが，これらの分野への具体的な適用は本ドキュメント作成時の適用範囲からは除外されている。 　 Referenced SEMI StandardsNone.