E10600 - SEMI E106 - 300 mm物理的インタフェースおよびキャリアに関するSEMIスタンダードオーバービューガイド

本スタンダードは，Global Physical Interfaces and Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年10月発行，前版は2004年11月発行。本文書は，SEMI PR6-0200がそのまま置き換えられたものである。   注意： 2010年，投票により本文書の撤回が承認された。   本文書は，300 mmキャリアと製造設備のユーザおよびサプライヤが300mmの物理的インタフェースおよびキャリアに関するSEMIスタンダードにおける複雑な相互依存を理解し，どのスタンダードがどの製品に適応されるかを判断するのに役立つように意図された。図1に示される通り，本スタンダード類は極めて相互の関連度が高く，複雑な依存関係を有し，かつ順序だった番号体系（時系列的に200mmスタンダードからの）を継承するものである。　Referenced SEMI StandardsSEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm WafersSEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)SEMI E15 — Specification for Tool Load PortSEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load PortSEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)SEMI E19.4 — 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)SEMI E21.1 — Cluster Tool Module Interface 300 mm: Mechanical Interface and Wafer Transport