E11600 - SEMI E116 - 装置性能トラッキング（EPT）のための仕様

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。   E 本文書は2007年9月に，誤字を訂正するため，編集上の修正がなされた。変更箇所は，表R1-13である。   この資料は，生産装置の基本的な性能のトラッキングを実行するための仕様について記述する。この資料の規定により，ホストコンピュータは，オペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の基本的な性能をトラッキングできる。この資料は，装置サプライヤが次の事項を実行するための仕様について記述する。  装置の基本的な状態をトラッキングすること （オペレータやホスト入力は不要）。 主要なモジュールおよび装置全体の両方について，モジュラ式に装置の基本的な状態をトラッキングすること。 モジュールと装置の両方のレベルで，装置の基本的な状態の変化をホストコンピュータにレポートすること。 モジュールと装置の両方のレベルで，装置がその状態にある時間をホストコンピュータにレポートすること。 モジュールと装置の両方のレベルで，装置がタスクを実行できないようにブロックされている理由をホストコンピュータにレポートすること。   装置のユーザは，ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは，運転のシナリオにおいて手動介入を最小