F05600 - SEMI F56 - マスフローコントローラの定常供給電圧の影響を測定するための試験方法

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年4月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年3月発行。前版は2007年3月発行。 　 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。 　 本文書の目的は，高純度ガス供給システムへマスフローコントローラ（MFC）の設置を検討する際に，MFCの特性を示す方法を定義することである。この方法によって，設定流量を正確に供給するMFCの能力に定常供給電圧が及ぼす影響を定量化する。 　 この手順は，サーマルマスフローコントローラに適用される。供給される質量流量の変化を，基準定常供給電圧からの偏移の関数として測定することを意図している。試験方法は，DC電源で動作するMFCを対象に設計されている。供給電圧の影響には，DC電源の電圧降下と過電圧変動が含まれる。 　 Referenced SEMI StandardsNone.