F05700 - SEMI F57 - 超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。   本スタンダードは， Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2013年12月23日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2014年3月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年10月発行。前版は2012年3月発行。 　 本書は，超純水（UPW）配分システムでのUPWの運搬に適した超高純度（UHP）ポリマー材料およびポリマー製部品に対する最低限の性能要求条件を規定する。UPWシステムに関する詳細な情報については，SEMI　F61を参照すること。 　 また，本書はUHP薬液供給システム（LCDS）に使用されるポリマー材料およびポリマー製部品の使用についての推奨を行っている。本書に記載されたこのような供給システムには，バルク供給，分配設備，およびプロセス装置のアプリケーションが含まれる。 　 本書の要求条件は，UPWを使用し温度を上昇させた状態での材料および部品の試験に焦点を当てているが，本書のユーザが検討する可能性のある腐食剤，酸化剤等の化学薬品も適用対象となる。しかし，考え得るあらゆる接液する薬液に対する膨大な数の試験パラメータを定義することは，本書の範囲外である。ただし，本書は，サプライヤやエンドユーザがUPW以外の化学薬品を使用した試験，またはその他の温度条件での試験を行う可能性や，また，本書内の要求条件とは独立した独自の内部制限を設ける可能性を排除または制限することを意図したものではない。 　 本仕様書は，ポリマー材料およびポリマー製部品の性能および妥当性に焦点を当てている。ポリマー材料およびポリマー製部品が本書の意図を満たすようにするための動作要求条件は，必要に応じて示されている。要約の一