F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年3月発行。前版は2006年3月発行。 　 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。 　 本書の目的は，高純度ガス分配システムへの組み込みを念頭においた不動態化316Lステンレス・スチール部品の試験方法を規定することである。この試験方法を適用すると，本認定試験を受けることにより組み込まれる部品間で比較可能な結果を生むことが期待される。 　 本書は不動態化の効果の指標として，ステンレス・スチール管，継手，バルブ他の部品の内面を試験して，その表面組成および化学的性質を測定する方法を規定する。 　 本方法の目的は，計器のパラメータおよび条件の一般的な組み合わせを説明し，クロムを含有する酸化層内の，重要な表面化学性質に対する正確で再現性のある測定を達成することである。 　 Referenced SEMI Standards SEMI F19 — Specification for the Surface Condition of the Wetted Surfaces of Stainless Steel Components