F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法
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本書は，ガス供給システムでのメタルシール設計の使用を評価するためのテスト方法である。表面実装タイプのガスシステムおよび従来のメタル面シール継手システムの両者をカバーする。 Referenced SEMI Standards SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components
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