G04200 - SEMI G42 - 半導体パッケージのジャンクション部と周囲間の熱抵抗測定用標準熱抵抗測定基板の仕様

本スタンダードは，global Assembly & Packaging Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年7月1日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年8月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1986年発行。前版は2004年11月発行。 　 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。 　 本文書は，レフェリー方法として静止空気および強制風冷下で半導体パッケージのジャンクション部と周囲間の熱抵抗の測定において用いられる標準熱抵抗測定基板に対する要求事項を記載する。 　 Referenced SEMI Standards SEMI G32 — Guideline for Unencapsulated Thermal Test Chip SEMI G38 — Test Method for Still- and Forced-Air Junction-to-Ambient Thermal Resistance Measurements of Integrated Circuit Packages