G06700 - SEMI G67 - シート材料から発生する粒子の測定の試験方法
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本スタンダードは，global Assembly & Packaging Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年7月1日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年8月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1996年9月発行。前版は2004年11月発行。 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。 この試験方法は，シート材料上の粒子を測定するための手順を記述する。 Referenced SEMI StandardsNone.
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