PV02200 - SEMI PV22 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様

本スタンダードは，global Photovoltaic Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。 　 本仕様は光起電性(PV)太陽光電池の製造に使われるシリコンウェーハに対する要求事項について取扱う。多数の製造ラインに使われるプロセス装置を共通にするためには，ウェーハ寸法を標準化することが必須である。 　 本仕様は現在光起電性用途に広く使われているサイズを基本にしたシリコンウェーハの標準化された寸法およびある他の共通特性を備えている。 　 本仕様は発注のための表形式仕様書式も備えているので，今現在は標準的でないウェーハ特性および研究・開発用のウェーハサイズへの拡大や新しい要求が商業取引で簡単にかつ矛盾なく指定できる。 　 Referenced SEMI Standards SEMI M35 — Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated Inspection SEMI M44 — Guide to Conversion Factors for Interstitial Oxygen in Silicon SEMI M53 — Practice for Calibrating Scanning Surface Inspection Systems Using Depositions of Monodisperse Polystyrene Latex Sphere on Unpatterned Semiconductor Wafer Surfaces SEMI M58 — Test Method for Evaluating DMA-Based Particle Deposition Systems and Processes SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology SEMI MF26 — Test Methods for Determ