S01200 - SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境，健康および安全ガイドライン

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。 E本スタンダードは，句読点を修正する為，2015年11月，編集上の修正が行われた。修正箇所は，タイトルである。注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全ガイドラインの公式な一部ではなく，また安全ガイドライン本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。安全ガイドラインの利用を促進するために委員会が提供したものである。 本文書は，危険物質に曝露されたか，曝露された可能性があり，今後生産での使用を意図される製造装置（ME）および部品の汚染除去のための指針を確立する。今後生産での使用を意図される装置には，再使用，再販売，修理，再生または再配置のため提供される装置も含まれる。 本安全ガイドラインは，地域，地区，国家，および国際の規制と組織の政策を適切に考慮して，各現場で採用すべきである。 本安全ガイドラインは，個別の状況に存在することがある現実的な限界を認めながら，輸送前に汚染をできる限り除去するのに使用することを目的としている。多くの場合，MEを破壊しなければ，化学的に完全な汚染除去はできないことが認識されている。ME譲渡人は，残存しているすべての既知の潜在的な危険が明確に識別されていることをME譲受人に確保すべきである。本安全ガイドラインは，危険物質に曝露されたか，曝露された可能性があり，人の健康または環境に脅威を及ぼす可能性があるMEおよび部品の汚染除去と取り扱いに適用される。取り扱い作業には，停止，解体，取り外し，ラベル付け，輸送前の梱包などがある。 本安全ガイドラインは，汚染除去および汚染除去に関連して残留する危険を文書化するための最低基準を説明する。Referenced SEMI Standards SEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S16 — Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life