S02300 - SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のためのガイド

本スタンダードは，global Environmental Health & Safety Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年2月3日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年3月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2005年3月発行，前版は2008年7月に発行された。   本ガイドでは，半導体製造装置で使用するエネルギー，ユーティリティ，および材料の保全に関するコンセプトを取り上げる。   本ガイドでは，半導体製造装置におけるエネルギー，ユーティリティ，および材料の使用に関する測定を取り上げる。   エネルギー，ユーティリティ，および材料の保全を促進するため，本ガイドでは，半導体製造装置におけるエネルギー，ユーティリティ，および材料の使用に関する継続的な改善計画を取り上げる。   本ガイドでは，一連のオプションや説明事項を通して，エネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を図る。ユーティリティと材料の使用測定のための，あるいは使用測定を等価エネルギーに換算するための特定の実行手順を提案する。 　 Referenced SEMI Standards SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation SEMI S2 — Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment