C05200 - SEMI C52 - 特殊ガスの貯蔵寿命に関する仕様

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2000年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2001年1月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年3月発行。 　 注意：　本文書は，編集上の修正を伴って再承認された。 　 本文書の目的は，特殊ガスの用語定義と，最短貯蔵寿命を推奨することである。これにより，ガスサプライヤの中で用語が一貫し，またこれらのガスのユーザに一般的ガイドラインが提供されることとなる。 　 この文書は, 適切にパッケージされ，充填され, 分析された特殊ガスが，特殊ガス製造者またはサプライヤによって保管された際の貯蔵寿命に適用される。本書では，貯蔵寿命は品質の観点でとらえられている。本書はガスの長期保管に関する安全面は取り扱わない。 　 Referenced SEMI StandardsNone.