E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I）

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。 注意： 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。 改訂の記録 － 本書は，1980年に出されたSECS-I初版の改訂版である。初版SECS-Iからの大幅な変更は少ないが，いくつかの重要事項が追加されている。なお，〈付属書〉A1.に変更点の要約を述べる。また，このスタンダードは，（社）日本電子振興協会のシリコン12委員会の協力のもとに作成された。 目的 － SECS-Iに従えば，設計者が通信する相手について詳細を知らなくとも，相互の通信を可能とする装置およびホストを設計することができる。 SECS-Iは，半導体製造装置とホスト間のメッセージ交換に関する通信インタフェースを定義している。半導体製造装置には，ウェーハ製造，ウェーハ処理，測定，アセンブリ，パッケージングの各装置がある。ホストとは，コンピュータまたはコンピュータのネットワークであり，装置と情報を交換する。SECS-Iは，シリアルなpoint to pointの通信を規定し，ホストと装置間のメッセージ交換に必要なコネクタ，信号レベル，データレート，ロジカルプロトコルなどの標準化も含んでいる。SECS-Iは，メッセージ内のデータについては定義していない。メッセージの内容は，SEMI E5, SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content （半導体製造装置通信ス