E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양

이 표준은 기술적으로 Global Physical Interfaces & Carriers Committee에 의해 승인되었으며, 해당버전의 출판은 2009년 9월 4일 Global Audits and Reviews Subcommittee에 의해 승인되었다. 원본은 1999년 6월 발행되었고, 이전 버전은 2007년 11월에 출판되었다. 최신본은 2009년 10월 www.semi.org에서 이용 가능하다. 대용량 웨이퍼 사이즈로의 전환으로, 향후 반도체 공장은 더 무거워진FOUP및 오픈 카세트(open cassettes)를 포함하는 웨이퍼 캐리어(carrier)를 전송하기 위해서 대규모의 자동화된 재료 처리 시스템(AMHS)을 사용할 것이다. 이에 생산 장비와 AMHS 간의 병렬 입/출력(PI/O) 컨트롤(control) 신호는 생산 장비 로드 포트에서 보다 안정적이고 효율적인 캐리어(carrier) 핸드오프(handoff) (로드/언로드)를 위해 제정되어야 한다. 이 표준의 목적은 캐리어(carrier) 전송의 신뢰성과 효율성 개선을 위해 SEMI E23에서 정의된 병렬 I/O 인터페이스의 기능을 강화하는 것이다. 향상된 기능에는 연속적인 핸드오프(handoff), 동시 핸드오프(handoff) 및, 인터페이스상의 오류 감지 기능이 포함되어 있다. 이 표준은 능동 장비(예, AGV, RGV 및 OHT 가 포함된 AMHS 장비)와 수동 장비(예, 프로세스 및 계측 장비를 포함하는 생산 설비; 스토커 등) 간의 재료 핸드오프(handoff) 작업과 관련된 통신에 관한 것이며, 해당 범위는 인터베이(interbay) AMHS 능동 장비(즉, 전송 기기를 갖춘 OHS와 스토커)와 수동 장비(즉, 전송 기기가 갖추어지지 않은 OHS와 스토커)까지 확장된다. 이 표준은 생산 장비와 AMHS 간의 핸드오프(handoff) 캐리어(carrier)에 사용되는 향상된 병렬 I/O 인터페이스 신호를 나타낸다. Figure 1과 2는 AHMS 장비 유형의