E10200 - SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様

本暫定使用は，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommitteeで2006年5月16日に発行が承認された。2006年6月にwww.semi.orgで，そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年6月発行。 　 半導体製造工場では，ストッカ格納および工程間搬送に高い基本性能が必要である。この基本性能に加えて，300 mmウェーハキャリアのサイズが大きくなったことおよびその重量が増大したことで必要となった人間工学的および安全要求事項を考慮すると，工程内搬送が必要となる。製造装置へ，また製造装置からの材料搬送の完全自動化を経済的に実現するため，これらストッカ，工程間搬送および工程内搬送システムは，お互いに，そしてまた，その工場の"製造管理システム（MES）"と完全に統合する必要がある。 　 自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）装置の基本的要求事項は，工場MESとの効率的な統合である。そのため，本スタンダードの目的は，図1に示しているとおり，相互運用性を持つAMHSシステムを経済的に統合できるようにすることである。メーカーは，AMHS統合システムの目に見える動作および工場MESとのインタフェースを規定するSEMIスタンダードを求めている。本スタンダードの目的は，これらインタフェースおよびCIMフレームワークの一部としてMESとAMHSシステム間の連係を規定することである。AMHSという言葉は自動マテリアルハンドリングをサポートする装置およびシステムを幅広く指すものとして一般的に使われているが，CIMフレームワークは，AMHS性能一揃いに対するMESのスタンダードインタフェースを表すマテリアル搬送・格納コンポーネント（MTSC）と呼ぶソフトウェアコンポーネントを規定する。 　 本スタンダードは，（他のCIMフレームワークコンポーネントで代表される）工場とマテリアルトラッキング・格納コンポーネント間での実行時の相互連係に対して，製造管理システム（MES）が必要とする共通インタフェースを提供する。マテリアル搬送および格納装置の構造とトラッキングを支援するインタフェースの一部は，CIMフレームワ