E10500 - SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様

本仕様は，Global Information & Control Committeeで技術的に承認されたもので，North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2001年2月1日に日本地区スタンダード委員会にて承認された。2001年4月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2001年7月発行に至る。初版は2000年9月発行。 スケジューリングコンポーネントは装置上の材料の処理，材料の移動，および装置の維持管理を行うジョブの指令をタイミングよく出すことによって，ファクトリオペレーションコンポーネント，材料搬送・保管コンポーネント，製造マシンコンポーネント，および装置トラッキング・メンテナンスコンポーネントをサポートする。スケジューラは製品の需要，装置および材料の状態，プロセスフロー，スループットのボトルネック，オペレーションポリシーおよび制約条件，その他の情報についての知識を使って，製品の需要を満たし計画された目標を達成するために，工場リソースを最大限効果的に利用するようなジョブを推奨する。 オペレーションに対するコントロール量が増加しているため，工場のイベントおよび状態変化に対応でき，材料処理，材料搬送および装置メンテナンスに関するスケジュールを動的に調整できるアクティブなスケジューリングコンポーネントが必要とされている。スケジューリングコンポーネントは，待ち行列のサイズを最小限に抑え，かつ，WIPインベントリレベルを希望レベルに保ってボトルネックの装置を最大限効率よく使用できるようにするために，プライオリティを調節して，工場にある材料のインベントリレベルに反応することができる。 スケジューリングコンポーネントは装置のアイドルタイムを減らすため，（サブストレートおよび耐久材に関する）材料搬送と処理を調整することによって所用時間（TAT）を最小限に抑えることができる。スケジューリングコンポーネントはセットアップタイムを最小限にするように活動を並べることができる。予定された装置ダウンタイムおよび予定外の装置ダウンタイムに対応して所用時間への影響を最小限にすることもできる。TAT全体を最小限に抑えるだけでなく，緊急ロットのプライオリティに対応す