E14200 - SEMI E142 - 基板マッピングの仕様

注意：SEMI E142.1, SEMI E142.2, およびSEMI E142.3の改訂を反映して，0211の出版サイクルにて，SEMI E142の出版年月が改訂された。   ウェーハ，フレーム，ストリップ（短冊状下地），トレーなどの基板のマップデータを報告，保存，伝送する際に必要なデータ項目を本書は定義するものである。   Subordinate Standards (included) SEMI E142.1-0211 — 基板マッピング用のXMLスキーマ SEMI E142.2-0211 — 基板マッピング用SECS IIプロトコル SEMI E142.3-0211 — 基板マッピング向けWebサービス    Referenced SEMI Standards (purchase separately) SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) SEMI E30 — Generic Model for Communication and Control of Manufacturing Equipment (GEM) – Event Data Collection and Dynamic Event Report Configuration SEMI E39 — Object Services Standard; Concept, Behavior and Services SEMI E39.1 — SECS II Protocol for Object Services Standard (OSS) SEMI E40 — Standard for Processing Management SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking SEMI E121 — Guide for Style and Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications