E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで，そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。 E　本文書は2007年9月に，誤字を訂正するため，編集上の修正がなされた。変更箇所は，§6である。 　 本ガイド文書は，一連の装置データ取得（EDA）SEMIスタンダードに関して追加の情報を提供し，これら規格間の関係を説明し，EDA仕様の適切な適用を確実にするために実装の基本コンセプトを提示する。 　 範囲内 本ガイドは，装置エンジニアリングデータを収集するためのEDAインターフェイスに関するSEMIの規定を実装する半導体製造装置に適用することができる。 　 本ガイドは以下について記述する。 EDAインターフェイスの概要 EDAインターフェイスを形成するスタンダードの概要 EDAインターフェイススタンダード間の関係 EDAスタンダードの統合，実装についてのガイド 　 範囲外 本ガイドスタンダードは装置外のシステム間のインターフェイスについて何も記述，定義しない。 　 Referenced SEMI Standards SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E40 — Standard for Processing Management SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS) SEMI E90 — Specification for Substrate Tracking SEMI E94 — Specification for Control Job Management SEMI E116 — Specification for Equipment Performance Tracking (EPT) SEMI E120 — Specification for the Common Equipment Model (CEM) SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD) SEMI E132 — Specification for Equipment Client Authentication and Authorization SEMI E134 — Specification for Data Collection Management (DCM) SEMI E138 — XML Semiconductor Common Components