E151 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww.semi.orgで，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となる。 　 本ガイドの目的は，半導体装置が生成したデータの品質に取り組む場合に使用できる共通の用語と定義を提供することである。これは，製造装置が生成するデータの品質を規定し，伝達し，処理し，議論することを支援する一連の共通の定義を確立する。 　 本ガイドは以下の項目を持つ。 　 データ品質とそれに関連する用語を理解するための取り組みについての背景と説明。 　 Referenced SEMI StandardsSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)SEMI E54 — Sensor/Actuator Network StandardSEMI E120 — Specification for the Common Equipment Model (CEM)SEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD)SEMI E132 — Specification for Equipment Client Authentication and AuthorizationSEMI E134 — Specification for Data Collection Management (DCM)