F00500 - SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。   本ガイドは，Global Environmental Health and Safety Committeeで技術的に承認されたもので，North American Environmental Health & Safety Committeeが直接責任を負うものである。現版は，2001年8月27日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている。2001年9月にまずwww.semi.orgで入手可能，2001年11月発行に至る。初版は1990年発行。 　 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.   注意：本文書は，投票に付された通り，SEMI F5-90の全体と置き換えることを目的としている。 注意："注"と記した段落は，このガイドの正式部分ではなく，公式ガイドを修正または置き換えることを意図して