F03500 - SEMI F35 - 非浸入式酸素測定を使用した超高純度ガス分配システムの安全性を確認するためのテスト方法

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。   本テスト方法は，Global Gases Committeeで技術的に承認されたもので，North American Gases Committeeが直接責任を負うものである。現版は2003年12月4日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年2月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2004年3月発行に至る。初版は1998年発行。 　 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 　 本テスト方法は，大気中の酸素の浸入を検出することによって，超高純度（UHP）ガス分配システムの完全性を監視する手順について規定する。本テスト方法は，対象となっているUHPガスを使用したプロセス装置の中断を必要とせずに，非浸入式のO2測定を使用することによって，「活動中の」UHPガス分配システムを連続的に評価するために