F05300 - SEMI F53 - サーマル・マスフローコントローラの電磁感受性評価の試験方法

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年4月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年7月発行。前版は2007年3月発行。 　 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。 　 本文書の目的は，サーマル・マスフローコントローラの電磁感受性の評価および試験のための体系的方法を定めることである。 　 本文書は，サーマル・マスフローコントローラがその産業に特有のEMIレベルに置かれた時，機能特性を保持するか否かを評価するために使用することができる要求事項および試験方法を述べる。試験方法は，コントローラがEMIに曝されたときの輻射感受性（RS）および伝導感受性（CS）の両方を記述する。電磁感受性の要求条件はMIL-STD-461CおよびSAMA PMC-33.1によるものであり，試験方法はMIL-STD 462に定められているRS03，CS01，CS02およびCS06試験方法の組合せである。 　 Referenced SEMI StandardsNone.