P04500 - SEMI P45 - マスク装置向けジョブデック・データフォーマットの仕様

本スタンダードは，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで，そして2008年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2006年3月に発行された。   本スタンダードは，MALYと称するマスク装置向けに共通で使用できる，ジョブデック・データフォーマットの仕様を定義する。　Referenced SEMI StandardsSEMI P39 — OASISTM – Open Artwork System Interchange Standard SEMI P44 — Specification for Open Artwork System Interchange Standard (OASISTM) Specific to Mask Tools