S00700 - SEMI S7 - 半導體製造設備的安全衛生及環保評估報告之安全基準

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.注意：這個翻譯是一個參考版本。如果您在使用上，發現中文翻譯版本與英文原文版本產生任何差異或是不確定之處，請務必參考英文原文版本，並以英文原文版本為主，英文原文版本屬於正式和權威的版本。 本安全基準的目的是讓報告使用者，決定評估公司和評估人員的資格。 在應用「SEMI S系列」文件進行評估有關公司時，本安全基準提供評估公司和評估人員應提供之最低限度的資訊。 在應用「SEMI S系列」文件或因應評估報告買方要求時，本安全基準提供相關資訊應如何予以溝通之。適用範圍應用「SEMI S系列」文件於評估公司和評估人員的資格，本基準提供了指導原則。 本基準包括：· 目的· 範圍· 限制· 引用的標準與文件· 術語· 概述· 評估公司資格· 評估人員資格· 專業領域 Referenced SEMI StandardsSEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing EquipmentSEMI S3 — Safety Guidelines for Process Liquid Heating SystemsSEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing EquipmentSEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing EquipmentSEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation of Semiconductor Manufacturing EquipmentSEMI S22 — Safety Guideline for Electrical Design of Semiconductor Manufacturing EquipmentSEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing EquipmentSEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System