E04000 - SEMI E40 - プロセス管理スタンダード

本スタンダードは，the Information and Control Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2013年6月4日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年8月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2012年3月発行。 　 注意: SEMI E40は，SEMI E40.1の改訂を反映して，0813出版サイクルにて出版年月が更新された。 　 工場でのオートメーションを実現するためには，装置での材料処理に対する自動化された管理およびコマンドは重要な要素の一つである。このスタンダードは，半導体製造装置内で材料を処理するという側面から，半導体製造環境における通信の要求事項を記載する。 　 本スタンダードはプロセス実行エージェントが受け入れることができるある材料の処理を行うアプリケーションについて記述する。また，材料を処理する概念，処理に関する装置の動作，および作業を完全に実行するのに必要となるメッセージサービスについて説明する。 　 本スタンダードにおいてコミュニケーション・サービスを定義することによって，独立したシステムにおいても共通の基準を用いることが可能となる。また，コミュニケーション・サービスの存在を想定することで，アプリケーション・ソフトウェア開発や，それらを提供するソフトウェア製品を開発することが可能となる。 　 自動化されたプロセス管理の実装により，材料の誤った処理を排除することができる。ここに述べられているスタンダードを適用すれば，準拠する装置のコンポーネントを統合する労力を大きく削減できる。本スタンダードに準拠するには，指定された最低限の一連のスタンダード・サービスが必要である。 　 本スタンダードの範囲は，独立したプロセスジョブを基にした自動の材料処理である。これは，クラスタツール内のプロセス管理のための必要機能を提供する。他のマルチリソース装置のサブシステムや，複数タイプの装置に対するホストコントロールにも適用することができる。 　 本スタンダードは，ある材料グループの同一処理に対する個別管理のサポートや，別のグル