E04000 - SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준

이 표준은 기술적으로 Global Information & Control Technical Committee에 의해 승인되었으며, 해당 버전의 출판은 2011년 12월 24일 Global Audits and Reviews Subcommittee에 의해 승인되었다. 1995년에 초본이 출판되었고, 이전 버전은 2011년 11월에 출판되었다. 이번 출판본은 www.semiviews.org와 www.semi.org에서 2012년 3월부터 이용 가능하다.   장비에 존재하는 재료 프로세싱의 관리와 명령(command)을 자동화하는것은 공장 자동화를 가능하게 하는 중요한 측면으로, 이 표준에서는 장비내의 재료 프로세싱에 관한 반도체 제조 환경에 필요한 통신을 다룬다.   이 표준은 프로세싱 에이전트가 수신한 지정된 재료에 대해 적절한 프로세싱의 응용 프로그램을 명시하고, 재료 프로세싱(material processing)의 개념, 프로세싱과 관련된 장비의 동작 및 작업(task)을 수행하는데 필요한 메시징 서비스(messaging serives) 들을 설명한다.   여기서 정의하는 통신 서비스는 독립적인 시스템의 표준에 근거하는 상호 운용을 가능하게 하고, 이를 통해 개발되는 응용프로그램이 이러한 서비스의 존재를 추측할수 있게하고 소프트웨어 제품들이 통신서비스를 제공할 수 있도록 개발되게 한다.   자동 프로세싱 관리의 실행으로 재료에 대한 오처리(misprocessing)를 없에고, 명문화된 표준의 적용으로 장비 구성요소의 통합에 필요한 노력을 크게 줄여 프로세싱 설정 시간을 감소시킨다. 준수 해야할 항목은 최소한으로 줄이지만 그 기준은 매우 명확해야만 한다.   이 표준의 범위는 개별 프로세스 잡(processing jobs)에 기반한 자동화된 재료 프로세싱이며, 이는 클러스터 도구 내의 모듈에 대한 프로세싱 관리에 필요한 기능을 제공한다. 다양한 유형의 장비에 대한 호스트 컨트롤(control)뿐만 아니라, 그외 다른 다중-