E04100 - SEMI E41 - 例外処理スタンダード

相互に作用する例外の取り扱いが，工場で自動化された制御を保守する場合の障害回復能力を向上させる。このスタンダードは，半導体製造環境における装置の例外処理においてコミュニケーションの必要性を提起する。 　 このスタンダードは，装置の異常な状況に関する相互作用と効果的な報告の為に例外エージェントによって提供された機能を規定する。それは，例外処理の概念，相互に作用する例外処理に関連する装置の動き，提供された機能性の為に必要とされるメッセージサービスを説明する。 　 ここでは，独立したシステムのスタンダードをベースとした，相互接続性を可能にするコミュニケーションサービスが定義された。これらの，サービスの存在を仮定できるアプリケーションソフトウェアの開発と，これらを提供する，ソフトウェア製品の開発を認めるべきである。 　 自動化された例外処理の実装は，エラー回復時間を減少させ，多くの状況において装置制御を自動からマニュアルに切り換える事を避ける手助けになる。スタンダードの採用は，適合する装置のコンポーネントを統合する為に，要求された努力を多いに減らすだろう。適合性はスタンダードサービスの明確なセットを要求する。 　 このスタンダードの現在の範囲は，クラスタツールでの相互に作用する例外の取り扱いである。 　 提供された機能が，他のマルチリソースイクイップメントに適用されている間には，すべての装置タイプに工場による自動化された管理と制御に必要な柔軟性を提供しないかもしれない。このスタンダードは，装置のすべてのタイプの工場による，マルチリソースイクイップメントの他のタイプの例外処理に適応させる為に拡張されるであろうと予想される。 　 このスタンダードは，例外エージェントによって決定者に対する，アラームを含む例外条件の報告をサポートする。例外エージェントは，同様にそれぞれの例外条件の報告を可能にしたり，不可にしたりする機能を持っている。 　 相互作用的例外の取り扱いは，ある状況の回復動作の決定者による選択を通してサポートされる。回復動作は，異常な状況の解決の目標として例外エージェントにより行われる。そして通常の装置の操作を続ける事を許す。 　 このスタンダードは，概念と動作からメッセージサービスに至るまでの解決法を提供する。しかしメッセージプロトコル