E04701 - SEMI E47.1 - 300 mmウェーハ搬送および保管用FOUPの機械仕様

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡ SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。 本スタンダードは，Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2006年11月発行。 　 注意：　本文書は、編集上の修正を伴い、再承認された。 　 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 　 本スタンダードは，IC製造工場において300 mm径ウェーハの搬送および保管に使用されるFOUPを，部分的に規定する。 　 本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，モジュール性と互換性を確保しな