E05300 - SEMI E53 - イベントレポート

本スタンダードは，Global Information and Control Committeeで技術的に承認されたものでJapanese Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年4月30日にJapanese Regional Standards Committeeにて承認された。2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2004年7月発行に至る。初版は1996年12月に発行された。 　 装置でのプロセスデータへのアクセスは，半導体製造施設で効率的にプロセスモニタリングとコントロールを行う際には非常に重要なことである。このスタンダードでは半導体装置とセルコントローラあるいはレシピサーバーといった工場内のオブジェクト間の通信の必要性について，タイムリーなデータ収集およびレポートという観点から扱っている。 　 このスタンダードの目的は，装置サプライヤが提供する汎用的なイベントレポートサービスのセットを用意することである。これより高いレベルのアプリケーション領域を扱っている別のスタンダードが本文書全体あるいは一部を参照する場合がある。 　 ここで定義されている通信サービスにより，スタンダードを基本とした，独立システムの相互運用が可能になる。通信サービスによって，このサービスが存在するという前提に立ったアプリケーションソフトウエアの開発が可能になり，このサービスを提供するソフトウエア製品の開発が可能となる。 　 このスタンダードは，あらゆる独立型装置，クラスタモジュール，クラスタツール，工場でのオートメーションセルに適用可能である。スタンダード自体は工場でのあらゆるレベルでのイベントレポートと装置コントロール階層について扱っている。 　 このスタンダードでは有意義な通信とコンピュータ用リソースが必要とされる。そのため，装置内のI/O分布（例えばセンサバス）のレベル以下には適用されない。 　 このスタンダードは定期的なデータレポートおよびイベントへの応答レポートをカバーしている。また問合せに対するレポートについても規定している。 　 このスタンダードはコンセプトおよび挙動からメッセージサービスまでの解決策を提示している。メッセージ送受信プロトコルは定義し