P01900 - SEMI P19 - 集積回路製造用メトロロジパターンセル

本スタンダードは，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年4月25日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年6月にwww.semi.orgで，そして2007年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1992年発行，前版は1996年に発行された。   本スタンダードは，集積回路製造に使用されるマイクロパターニング装置，メトロロジ用器具およびプロセスに対して，量産適用可能な評価およびテスト方法を提供するために，幾つかの標準パターンを規定するものである。　Referenced SEMI StandardsSEMI P24 — CD Metrology Procedures