P04600 - SEMI P46 - XMLによるフォトマスクのCD計測情報データの仕様

本スタンダードは，global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommitteeで2006年5月16日に発行が承認された。2006年6月にwww.semi.orgで， そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。   このXMLデータ構造の規格は，フォトマスクの素子寸法（CD）測定装置で使用する共通の入出力フォーマットを定義している。   この標準化されたデータ構造を用いる装置サプライヤは，特定のソフトウェアおよびハードウェアに依存することなく送信と受信ができるようにする。　Referenced SEMI StandardsSEMI P10 — Specification of Data Structures for Photomask Orders SEMI P41 — Specification for Mask Defect Data Handling with Xml, Between Defect Inspection Tools, Repair Tools, and Review Tools